特點和優勢100級潔淨室標準經過第三方認證不鏽鋼外殼上的鈍化表麵處理方便清理高靈活性電纜包裹在潔淨室認證的外殼內 ，把微粒和排氣降低軟件控製的特性可以提高良率 ，減少人為幹擾靈活的加熱區數量以及可選的過程控製加熱（CpH）使工藝時間減小可以選配薄膜框架和裸晶圓運輸裝置 ，用於集成材料裝卸功能 。
